Инжиниринговый химико-технологический центр (ИХТЦ) при Томском государственном университете (ТГУ) запустил в Томске отечественное производство высокочистого бромистого водорода (HBr), необходимого для микроэлектронной промышленности. Об этом сообщили в пресс-службе университета.
Новая линия позволяет выпускать HBr с чистотой 99,999% (5N), что полностью покрывает потребности российского рынка и снижает зависимость от зарубежных поставок, в частности из Китая и стран Европы. При необходимости мощности можно увеличить.
Разработка технологии заняла полтора года: специалисты прошли путь от лабораторных испытаний до промышленного производства. Производство сертифицировано, получен паспорт безопасности от Института стандартизации, что позволяет официально реализовывать продукцию на рынке.
Ежегодный объём выпуска — около 650 кг, но линия масштабируема. Как отметила руководитель проекта Ася Водянкина, особую сложность представляло создание системы аналитического контроля: в России ранее не было методик, позволяющих точно отслеживать содержание критичных примесей, таких как вода, хлороводород и металлы. Эти методики были разработаны и аттестованы на базе лаборатории физико-химических методов анализа ТГУ.
Проект реализуется в рамках федеральной программы по развитию электронного машиностроения до 2030 года. Заказчиком выступает Минпромторг РФ, ключевые потребители — ведущие предприятия микроэлектроники, включая АО «Микрон», АО «ОКБ Планета», АО «Ангстрем» и другие.
Производство HBr стало частью широкой инициативы по созданию отечественной линейки сверхчистой химии. Параллельно ИХТЦ наладил выпуск TDMAT, а к концу 2025 года планирует запустить производство трибромида бора с чистотой 99,99995%. Совместно с Минпромторгом ТГУ также участвует в разработке стратегии развития химической отрасли России до 2035 года.
Новая линия позволяет выпускать HBr с чистотой 99,999% (5N), что полностью покрывает потребности российского рынка и снижает зависимость от зарубежных поставок, в частности из Китая и стран Европы. При необходимости мощности можно увеличить.
Разработка технологии заняла полтора года: специалисты прошли путь от лабораторных испытаний до промышленного производства. Производство сертифицировано, получен паспорт безопасности от Института стандартизации, что позволяет официально реализовывать продукцию на рынке.
Ежегодный объём выпуска — около 650 кг, но линия масштабируема. Как отметила руководитель проекта Ася Водянкина, особую сложность представляло создание системы аналитического контроля: в России ранее не было методик, позволяющих точно отслеживать содержание критичных примесей, таких как вода, хлороводород и металлы. Эти методики были разработаны и аттестованы на базе лаборатории физико-химических методов анализа ТГУ.
Проект реализуется в рамках федеральной программы по развитию электронного машиностроения до 2030 года. Заказчиком выступает Минпромторг РФ, ключевые потребители — ведущие предприятия микроэлектроники, включая АО «Микрон», АО «ОКБ Планета», АО «Ангстрем» и другие.
Производство HBr стало частью широкой инициативы по созданию отечественной линейки сверхчистой химии. Параллельно ИХТЦ наладил выпуск TDMAT, а к концу 2025 года планирует запустить производство трибромида бора с чистотой 99,99995%. Совместно с Минпромторгом ТГУ также участвует в разработке стратегии развития химической отрасли России до 2035 года.
